у виробництві LTCC Керамічна, відповідна кількість шарів починається через вирізання зелених стрічок. до їх подальша обробка деяких матеріалів вимагає додаткового Температурного процесу приблизно при 120 ° C. на другому етапі різні шари механічно обробляються. Це означає, що регулювання та покриття отвори (Vias) пробиваються в стрічках. Це слідує через заповнення тиску та застосування металізацій, резисторів та інших плівок з використанням товстої плівки-шовку екран процес. The звичайними провідними матеріалами є золото, срібло, платина та паладій сплави. The закачування шарів і подальше спікання приблизно 850 ° C - 900 ° C виробляють готові багатошарові. The спікання викликає LTCC матеріалу, який потрібно зменшити приблизно 12 % у x / y напрямок та 17 % у напрямку z-напрямку. це, зокрема, усадка на рівні x / y що негативно впливає на будь-яке дотримання структурної точності. з метою запобігання цьому неусадки матеріал для x / y-напрямку (0,1 %) була розроблена. Це Позитивний ефект досягається поєднанням спеціально розроблених стрічкових матеріалів. Коли розгортання цього матеріалу збільшення усадки в z-напрямку (близько 45 %), особливо при утилізації отворів та вирізанні розділи, не можна ігнорувати. Якщо це спостерігається на етапах будівництва та переробки, тоді 0-усадка стрічка - це крок вперед у порівнянні з традиційним LTCC стрічка матеріал.
переваги
The можливість обробки шарів індивідуально та різними способами перед спіканням дозволяє LTCC також використовуватись як конструкція упаковки елемент. у цьому спосіб досягнення порожнин, каналів та інших форм. Це технологія дозволяє багатошаровість конструкцій, яких потрібно досягти простим способом за допомогою інтегровані, пасивні компоненти. LTCC також володіє, крім теплопровідність, ті ж позитивні риси, що і товста плівка схеми. The витік відпрацьованого тепла повинен здійснюватися через теплові в'язи якщо необхідне.
Ширина лінії / пробіл 75um |
точність лінії ≤ ± 5 гм |
розвал ＜ 3міль / в |
вбудовані компонентні резистори, конденсатори, індуктори |
кількість шарів 30 (вгору) |
вибір стрічки Дюпон 951 / 943 Ферро A6S / M, Герей |
Через Розмір (мінімум) 100 гм |
матеріал провідника Ag, Au, гібридна система |
порожнина відкрита / вбудований |
Через Materail Ag, Au, перехідний матеріал |
теплові Через за бажанням |
розмір підкладки 150ммx150мм (вгору) |
перевірка I / O автоматичний тест та огляд зору |
стандарт перевірки MIL-PRF-38534 клас h |
загальний річний випуск LTCC підкладка 5 000 000 см2 |
